纳米硬度计ZHN具备常规硬度计难以企及的试验力和位移分辨率，从而保证了能够针对薄膜、涂层或微小表面的综合机械特性测试能力，包括测量压痕硬度、压痕模量和马氏硬度(ISO 14577)。
ZHN装备了二个专利型测量单元:
●法向试验力单元(NFU)
●切向试验力单元(LFU)
当使用一个测量单元时(法向试验力单元)，ZHN的功能就如同深度测量方法的硬度计。但是深度位移测量单位可达到百万分之几范围，最大试验力仅2 N, 可在小于200 nm压痕深度范围内进行纳米压痕深度测量。
可选择试验力为0.2 N的测量压头，其数字试验力分辨率为0.002uN。

ZHN的一个独特地方就是第二个独立的测量单元-切向试验力单元，同样具有相同的优异分辨率。如果需要，法向和切向试验力单元可以按照实际应用进行组合，极大地扩展了测量选项。可以作为纳米级划痕试验机、纳米级磨损试验机、疲劳试验机、或成为高分辨率表面粗糙度测量机。
其它独特性能:
●两个测量单元都能执行压缩和拉伸模式
●两个测量单元都适用于动态测量模式，从较小的振荡频率直至300Hz,并可加入力信号或位移信号，允许接触刚度的实际连续分析
●极其坚固结构，消除了任何危害传感器的风险,并且操作简单
●标准金刚石压头能够方便地替换成其它任何形状和任何材料的压头，而不会丢失精度，特别应用于一些特殊的磨损或粘合测试

ZHN结合xyz工作台，行程为100 mm (x)，200 mm (y)和70mm(z)，其分辨率为50nm。
ZHN还包含高分辨率光学系统——2台 照相机和1套自动聚焦系统，并且一些元件可适合客户的需求。

其它特点:
●用户友好的试验软件InspectorX
●全自动接近试验样品，甚至可按照试样的高度尺寸而变化
●全自动测量,包括测量点的图像生成，
●可以无限制预设测量点位置
●最大程度缩短试验时间
●批次测量的每一试验曲线可在一张曲线图中显示，并可分析比较
●可以编制特殊试验程序